Edut:
Tämä pumppusarja toimii hyvin ankarissa ympäristöolosuhteissa (korkea lämpötila, pöly jne.), Vakaa suorituskyky ja pitkä käyttöikä sekä yksinkertainen huolto ja kätevä käyttö.
Sovellukset:
Tärkeimmät sovellukset ovat teollisuuden vuotojen havaitsemisessa, PVD: ssä, CVD: ssä, ionien istutuksessa, tyhjiöelektroniikkakomponenttien valmistuksessa, low-E-lasissa, ITO-lasissa, optisessa pinnoitteessa, aurinkokennoissa, elektronisädehitsauksessa, tyhjöuunissa ja muilla teollisuudenaloilla
Tekniset tiedot:
Laippa (sisään) | DN400 ISO-K | Kaasu koko (sccm) | N25500 : |
Laippa (ulos) KF | DN100 | Hän 4000 | |
Pumppausnopeus (L/s) | N23500 : | H23200 : | |
Hän 2650 | 2100 : | ||
H21280 : | Pyörimisnopeus (rpm) | 13500 | |
3200 : | Käyttöaika (min) | ≤18 | |
Puristussuhde | N2: 108 | Jäähdytystyyppi, vakio | Vesi |
Hän : 103 | Jäähdytysveden kulutus (L/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Jäähdytysveden lämpötila (℃ | ≤25 | |
Ar : 108 | Virtaliitäntä: Jännite (V AC) | DC24/AC220 | |
Lopullinen paine (Pa) | 6 × 10-6 | Suurin virrankulutus (W) | ≤ 1100 |
Max. Jatkuva alipaine (Pa) | 100 | Ohjaimen malli | FD-III |
Max. Etuimurin paine | N2300 : | Paino (kg) | 130 |